潮新闻 记者 陈醉 通讯员 高嘉鸣
5月31日晚10时,宁波阳明工业技术研究院内,一束束顶灯在车间里投下光柱。
宁波江丰芯创科技有限公司副总经理、40岁的汪涛攥着一块银色金属圆盘,眉头紧锁。这是半导体设备核心部件“气体分配盘”的最新样品,盘面边缘那0.1毫米的“漏铝”缺陷,亟待攻克。
“时间紧,新样品端午假期后就要交付。今晚,问题必须归零!”汪涛转身对产品工程师、00后韩雪洁比划改进方案。
话音刚落,团队6名成员立刻围拢过来,键盘敲击声、图纸翻动声与讨论声交织,思维的火花肆意碰撞,争分夺秒的紧张感弥漫整个车间。
气体分配盘,名字听起来冰冷,却是芯片制造链上名副其实的“咽喉要道”,用来为晶圆喷洒绝缘层。汪涛指着手中的样品解释:“其精细度之高,好比在指甲盖上雕刻数百个直径仅0.7毫米的喷孔,且误差不能超过5微米。”
为攻克这项“卡脖子”技术,4年前,作为国内半导体龙头企业江丰电子技术员的他,带着成员平均年龄不到35岁的研发团队,进驻宁波阳明工业技术研究院,目标清晰且宏大:将技术突破转化为实实在在的产品、产业,补齐在这一关键领域的短板。
宁波江丰芯创科技有限公司工作人员正在进行产品的外观检查。拍友 黄引驰 记者 陈醉 摄
在彼时的汪涛看来,阳明工研院宛如一座“产业苗圃”,孕育着无数的科创梦想。
“最初,我们连基础图纸都没有,第一次测试时,气流像失控的花洒,晶圆涂层厚薄不一。”汪涛回忆起创业初期的窘境。这个由宁波、余姚两级政府支持,并由龙头企业江丰电子牵头组建的民营科技研发机构,很快便为他们量身定制了“共享研发包”:2000平方米的洁净车间、价值上亿元的检测设备,以及由10余个院所专家组成的“外脑”智库……正是在这样的专业支持下,汪涛的团队跨过了需要数亿元投入的研发门槛。
“我再去测一次表面颗粒物残留。”说话间,韩雪洁已抓起样品,匆匆穿过走廊,奔向园区另一端的共享检测中心。
在这个100多平方米的百级无尘室里,一台液体颗粒仪的激光扫过样品表面,实时生成的三维拓扑图上,纳米级颗粒物残留无所遁形。韩雪洁案头堆积如山的检测报告,默默记录着她与这台检测设备为伴的无数个日夜。
“初创企业哪有钱自建这样的实验室?这里只收成本费,还配有专业操作员。”韩雪洁指着屏幕上跳动的数据,“看!平面误差已从15微米压到10微米内,孔径误差范围缩小5微米——每一次精度跃升,都是上千次温度、浓度、洁净度全方位较量的结果。‘全链条护航’让我们平均研发周期缩短了40%。”
“去年,我们的产品需求翻番,大量上市,赚钱了,也终于买下近万平方米自有厂房。”此刻,韩雪洁就站在崭新的生产线前,投入新难题的攻克中,难掩激动:“真切体会到工研院这个‘助推火箭’的威力。”
宁波江丰芯创科技有限公司工作人员正在进行产品的表面清洗。拍友 黄引驰 记者 陈醉 摄
在阳明工研院15万平方米的空间里,这样的创新脉动此起彼伏——
走廊另一侧的同创普润车间里,超高纯铝提纯设备正发出嗡鸣;楼下芯丰精密的工程师,正在调试全球领先的微米级减薄装备;润平电子攻克12英寸先进制程CMP(化学机械抛光)抛光垫,精度超越同类产品50%……
最新数据显示,已有18支创业团队在阳明工研院成长,其中17家已成长为规上企业、6家成为国家级高新技术企业。2024年,这些企业总产值突破20亿元,成为所在细分领域的领跑者。
“厂房租金?建新厂投入多少?”可当“汪涛”们被问及这些创业细节时,却笑着摆手:“这些园区财务团队都帮我们搞定了。”
这背后是阳明工研院独创的“26321”服务模式,即在建立“产业园区”和“产业基金”两个平台下,设立六大共享中心承接人力、财务、投融资、建设规划等职能,聚焦产品研发、产品交付、产品销售铁三角,“创新”和“产业化”两个战略支点,培养人才团队一个核心,最终实现高质量发展的目标。
宁波江丰芯创科技有限公司工作人员正在清洗药剂分析。拍友 黄引驰 记者 陈醉 摄
“管理能力与研发能力是两种基因,能否实现这惊险一跳,决定了创业者的不同前途。”这一夜,阳明工研院执行院长崔鋆也密切关注汪涛团队的进展,以全院之力助力。“我们最核心的产品,从来不是某块芯片或某项技术,而是能持续造芯的企业和企业家。”他的话,也道出了这一科创平台的核心价值。
崔鋆给出两个振奋人心的数字:“今年,为园区企业产值复合增长率达到40%、新增专利400项以上的目标奋力拼搏,而当下,正是冲锋期。”
1日凌晨1时30分,改进方案终于敲定。汪涛揉了揉发红的眼睛:“有工研院托底,我们只管向前冲。”
【短评】
在创新雨林中孕育新质生产力
习近平总书记在部分省区市“十五五”时期经济社会发展座谈会上强调,要完善国家创新体系,激发各类创新主体活力,瞄准世界科技前沿,在加强基础研究、提高原始创新能力上持续用力,在突破关键核心技术、前沿技术上抓紧攻关。
这一重要论述为科技创新进一步指明方向,而阳明工研院的实践,以“产业、研发、创业、人才”四维基地模式,给出了一个颇具启示的解法:科技创新的突破,不仅需要技术攻坚的“孤胆英雄”,更需要构建“创新雨林”般的生态系统,让新质生产力在协同共生中破土而出。
当前科技创新面临的一个核心矛盾,是大量科研成果“锁在抽屉里”。发展新质生产力,最需要的是更多像这样的制度创新。
科技创新绝非孤立的活动,而是需要产业、人才、资本等多要素协同配合,政府、企业、科研机构等各方加强合作,建立产学研用深度融合的创新体系。政府要发挥引导作用,通过制定优惠政策、加大资金投入等方式,为创新活动营造良好的政策环境和社会氛围;企业要成为创新的主体,加大研发投入,积极与科研机构合作,将科研成果转化为实际产品和服务;科研机构则要加强基础研究和应用研究,为产业发展提供技术支撑。只有各方形成合力,才能为新质生产力的发展提供肥沃的土壤。